气体类型
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流量范围
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纯度要求
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氩气
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0.1-10 SLPM
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99.9999%
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硅烷
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0.05-5 SLPM
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无金属离子污染
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特性
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传统差压式
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热式流量计
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测量原理
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间接推算
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直接质量流量
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低压损
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>10kPa
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<0.1kPa
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小流量精度
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±5% (<10%FS)
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±1% (2-100%FS)
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启动流速
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0.3m/s
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0.01m/s
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含杂质耐受
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易堵塞
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可测含尘气体
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